- Details
- Hits: 4054
Патент України UA 58700 МПК7 H01L 21/265(2011.01) на корисну модель// Данько В.А., Індутний І. З., Михайловська К.В., Шепелявий П. Є.- Бюл. Промислова власність. – 26.04.2011.– № 8.
V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine |
Патент України UA 58700 МПК7 H01L 21/265(2011.01) на корисну модель// Данько В.А., Індутний І. З., Михайловська К.В., Шепелявий П. Є.- Бюл. Промислова власність. – 26.04.2011.– № 8.