- Details
- Hits: 3581
Патент України № 99200 UA, від 25.07.2012, Бюл. № 14, МПК (2012.01) G03H 1/00, G03F 7/оо G03G 5/оо, Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович
V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine |
Патент України № 99200 UA, від 25.07.2012, Бюл. № 14, МПК (2012.01) G03H 1/00, G03F 7/оо G03G 5/оо, Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович