V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Патент України № 99226 UA, від 25.07.2012, Бюл. № 14, МПК (2012.01) G03H 1/00 G03F 7/оо G03G 5/оо, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович,  Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович