V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Патент України UA 58700 МПК7  H01L 21/265(2011.01) на корисну модель//  Данько В.А.,   Індутний  І. З.,  Михайловська К.В.,   Шепелявий  П. Є.- Бюл. Промислова власність. – 26.04.2011.– № 8.