- Деталі
- Перегляди: 6482
Scotti G., Trusheim D., Kanninen P., Naumenko D., Shulz-Ruhtenberg M., Snitka V., Kallio T., Franssila S. // Journal of Micromechanics and Microengineering. – 2013. – V.23(5). – P.055021.
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Scotti G., Trusheim D., Kanninen P., Naumenko D., Shulz-Ruhtenberg M., Snitka V., Kallio T., Franssila S. // Journal of Micromechanics and Microengineering. – 2013. – V.23(5). – P.055021.