- Деталі
- Перегляди: 3505
Патент України № 99200 UA, від 25.07.2012, Бюл. № 14, МПК (2012.01) G03H 1/00, G03F 7/оо G03G 5/оо, Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Патент України № 99200 UA, від 25.07.2012, Бюл. № 14, МПК (2012.01) G03H 1/00, G03F 7/оо G03G 5/оо, Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович