Влияние остаточной атмосферы на формирование структуры пленок a-SiC при осаждении с помощью магнетронного распыления

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

А.В. Васин, Е.Ф. Венгер, Л.А. Матвеева, А.Г. Гонтарь, А.М. Куцай, И.А. Косско // Сверхтвердые материалы, т.119, №3, с.18-24 (1999)

Nav view search