Контроль нано-мікропереміщень поверхні за допомогою лазерного гетеродинного приймача

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

Є.Ф. Венгер, О.Г. Коллюх. Ю.Г. Серьожкін// Тези доповідей науково-практичної конференції з сенсорної електроніки СЕМСТ-2 (2006)

Nav view search