Вплив ВЧ плазмової обробки на властивості гетероструктур (a)SiC/p-Si

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

Я.М. Вовк, О.М. Назаров, В.С. Лисенко, А.С. Ткаченко та ін.// Оптоэл. и Полупров. Технологии, т.35, С.109-120 (2000)

Nav view search