ВЧ-плазменная обработка как метод радиационно-термического наводораживания микроэлектронных кремниевых структур

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

А.Н. Назаров, В.С. Лысенко// Микроэлектроника, т.23, вып.4, C.45-65 (1994)

Nav view search