Интерференционная фотолитография с использованием резистов на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

В.А. Данько, И.З. Индутный, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый// Автометрия, т. 46, № 5, С. 103 – 112 (2010)

Nav view search