Особливості полірування пластин GaAs хіміко-динамічним та безконтактним хіміко-механічним методами

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

А.В. Фомин, Г.А. Пащенко, М.Ю. Кравецкий // Фізика і хімія твердого тіла, № 2, с. 305-310, (2015)

Nav view search