Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Деталі
Перегляди: 1928

Чегель В.І, Бєляєв О.Є., Гуо Д., Лопатинський А.М., Лукас Б., Кукла О.Л., Павлюченко О.С. Патент України на корисну модель UA № 65947 МПК G01N 21/00, 21/25, 33/53, 33/543, 33/553, G03F 7/00, заявл. 15.03.2011, опубл. 26.12.2011, Бюл. № 24.