Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України
Пошук
Навігаційний перегляд пошуку
Навігація
Головна
Інститут
Наукові відділи
Проекти
Розробки
Освіта
Новини
Журнал
Пошта
Ви тут:
Головна
Наукові відділи
Publications
dep07-1
dep-07-2014-1
Oxygen gettering in low-energy arsenic or antimony ion implanted Cz-silicon.
Фізики напівпровідникових матеріалів і структур та їх діагностики
Фізики поверхні, оптоелектроніки і фотоніки
ТГц- і ІЧ- функціональної напівпровідникової мікро- та нанофотоелектроніки
Фізики і технології сенсорних систем
Перспективні та інноваційні розробки
Логін
Пароль
Запам'ятати мене
Забули свій пароль?
Забули свій логін?
Деталі
Перегляди: 15843
O. Oberemok, V. Kladko, V. Litovchenko, B. Romanyuk, V. Popov, V. Melnik and J. Vanhellemont // Phys. Status Solidi C 11, No. 11–12, 1634–1639 (2014)