Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України
Пошук
Навігаційний перегляд пошуку
Навігація
Головна
Інститут
Наукові відділи
Проекти
Розробки
Освіта
Новини
Журнал
Пошта
Ви тут:
Головна
Наукові відділи
Publications
dep07-1
dep-07-2014-1
Stimulated oxygen impurity gettering under ultra-shallow junction formation in silicon.
Фізики напівпровідникових матеріалів і структур та їх діагностики
Фізики поверхні, оптоелектроніки і фотоніки
ТГц- і ІЧ- функціональної напівпровідникової мікро- та нанофотоелектроніки
Фізики і технології сенсорних систем
Перспективні та інноваційні розробки
Логін
Пароль
Запам'ятати мене
Забули свій пароль?
Забули свій логін?
Деталі
Перегляди: 13834
O. Oberemok, V. Kladko, V. Litovchenko, B. Romanyuk, V. Popov, V. Melnik, A. Sarikov, O. Gudymenko and J. Vanhellemont // Semicond. Sci. Technol. 29 (2014) 055008 (7pp)