- Деталі
- Перегляди: 7859
. Klyui, V. Ya Bratus, V.P. Temchenko, V.B. Lozinskii, V.O. Yukhymchuk, Wei Han, B. Liu // Materials Science in Semiconductor Processing (2017) 71:232-239, DOI 10.1016/j.mssp.2017.08.006
 |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
|
. Klyui, V. Ya Bratus, V.P. Temchenko, V.B. Lozinskii, V.O. Yukhymchuk, Wei Han, B. Liu // Materials Science in Semiconductor Processing (2017) 71:232-239, DOI 10.1016/j.mssp.2017.08.006