- Деталі
- Перегляди: 1770
Ширшов Ю.М., Кукла А.Л., Почекайлова Л.П. // Труды VI Международного симпозиума “Тонкие пленки в электронике”, Том 1, Москва – Киев - Херсон,: АО ЦНИТИ “Техномаш”, 1995, c. 213
![]() |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Ширшов Ю.М., Кукла А.Л., Почекайлова Л.П. // Труды VI Международного симпозиума “Тонкие пленки в электронике”, Том 1, Москва – Киев - Херсон,: АО ЦНИТИ “Техномаш”, 1995, c. 213