- Деталі
- Перегляди: 10424
G.S.Pekar , A.F.Singaevsky. // Materials Science in Semiconductor Processing, Vol. 64, 15 June 2017, P. 10–15. http://dx.doi.org/10.1016/j. mssp.2017.02.026.
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
G.S.Pekar , A.F.Singaevsky. // Materials Science in Semiconductor Processing, Vol. 64, 15 June 2017, P. 10–15. http://dx.doi.org/10.1016/j. mssp.2017.02.026.