Сorrelation of the deposition parameters, film thickness and mechanical stresses in a-C:H films on silicon substrates

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України

A.V. Vasin, L.A. Matveeva, A.G. Gontar, A.M. Kutsay // Functional materials, №1, p.173-175 (2000)

Навігаційний перегляд пошуку