Исследование влияния ионной имплантации на форму края поглощения пленок германия

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України

Л.А. Матвеева, Ю.А. Тхорик // Радиационные эффекты в германии. Препринт КИЯИ-76-24, Киев, с.23-24 (1976)

Навігаційний перегляд пошуку