Oxygen gettering in low-energy arsenic or antimony ion implanted Cz-silicon.

Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Національна академія наук України

O. Oberemok, V. Kladko, V. Litovchenko, B. Romanyuk, V. Popov, V. Melnik and J. Vanhellemont // Phys. Status Solidi C 11, No. 11–12, 1634–1639 (2014)

Навігаційний перегляд пошуку