Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Деталі
Перегляди: 10125

O. L. Stroyuk, V. M. Dzhagan, A. V. Kozytskiy, A. Ya. Breslavskiy, S. Ya. Kuchmiy, A. Villabona, D. R.T. Zahn // Materials Science in Semiconductor Processing. 37 (2015) 3-8. DOI: 10.1016/j.mssp.2014.12.033