Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України
Пошук
Навігаційний перегляд пошуку
Навігація
Головна
Інститут
Наукові відділи
Проекти
Розробки
Освіта
Новини
Журнал
Пошта
Ви тут:
Головна
Проекти
Publications
dep13
dep-13-2015
Особливості полірування пластин GaAs хіміко-динамічним та безконтактним хіміко-механічним методами
Деталі
Перегляди: 19380
А.В.
Фомин,
Г.А.
Пащенко,
М.Ю.
Кравецкий
//
Фізика і хімія твердого тіла, № 2, с. 305-310, (
2015)