Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України

Пошук

Деталі
Перегляди: 8427

Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України № 104132 U, МПК H01L 21/00; заявл. 17.07.2015; опубл. 12.01.2016, Бюл. №1.