Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України

Пошук

Деталі
Перегляди: 7064

Scotti G., Trusheim D., Kanninen P., Naumenko D., Shulz-Ruhtenberg M., Snitka V., Kallio T., Franssila S.  // Journal of Micromechanics and Microengineering. – 2013. – V.23(5). – P.055021.