 |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
|
Наукові відділи Publications dep14 dep-14-2015 Effect of magnetron power on properties of ZnO:Al thin films deposited by layer-by-layer method in magnetron sputtering.Ievtushenko A.I., Karpyna V.A., Popovych V.I., Lytvyn O.S., Romanyuk V.R., TkachV.M., Baturin V.A., Karpenko O.Y., Kuznetsov V.M., Dranchuk M.V., Dusheyko M.G., Lashkarev G.V. // Nanostructural Materials Science. – 2015. – P. 43-49.
