V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Патент України на корисну модель № UA 110340 U, МПК H01L 21/00. Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. Заявник і власник Херсонськ. держ. морська акад. – №  u 2016 02358; заявл. 11.03.2016, опубл. 10.10.2016, Бюл. №19.