- Деталі
- Перегляди: 4705
Патент України UA 58700 МПК7 H01L 21/265(2011.01) на корисну модель// Данько В.А., Індутний І. З., Михайловська К.В., Шепелявий П. Є.- Бюл. Промислова власність. – 26.04.2011.– № 8.
 |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
|
Патент України UA 58700 МПК7 H01L 21/265(2011.01) на корисну модель// Данько В.А., Індутний І. З., Михайловська К.В., Шепелявий П. Є.- Бюл. Промислова власність. – 26.04.2011.– № 8.