- Деталі
- Перегляди: 6082
Kukla A.L., Shirshov Yu.M. // Proc. 5th NEXUSPAN Workshop on Thermal aspects in microsystem technology. – Budapest (Hungary). – 1998. - p. 14-17
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Kukla A.L., Shirshov Yu.M. // Proc. 5th NEXUSPAN Workshop on Thermal aspects in microsystem technology. – Budapest (Hungary). – 1998. - p. 14-17