Аutomated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals.

Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Національна академія наук України

Пошук

Деталі: Перегляди: 10251

G.S.Pekar, А.А.Singaevsky А.F.Singaevsky // Semiconductor physics, quantum electronics and optoelectronics. 2016. V.19, N.1. P. 023-027.