Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України

Пошук

З.Ф. Томашик, І.Б. Стратійчук, А.С. Кравцова, В.М. Томашик, С.М. Галкін, О.О. Сосницька, С.М. Калитчук, Д.В. Корбутяк, Л.А. Демчина, С.І. Будзуляк / Патент на корисну модель № 71056. Промислова власність.  Бюллетень № 12 від 25.06.2012 бюл. №12. Номер заявки: u201202916. МПК (2006.01) H01L 21/02, H01L 21/465 (2012)