Вплив технологічних параметрів процесу осадження алмазоподібних вуглецевих плівок на їх оптичні властивості

Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Національна академія наук України

Пошук

Деталі: Перегляди: 6735

М.І.Клюй, В.Б. Лозінський, А.В. Макаров, В.П. Темченко, В.О. Ганус, А.М. Клюй, В.С. Стащук // Вісник КрНУ, вип.72, №1, с. 27–30 (2012)