Повышение деградационной стойкости кристаллов полуизолирующего арсенида галия плазменными обработками

Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Національна академія наук України

Пошук

Деталі: Перегляди: 6464

Н.И. Клюй, А.И. Липтуга, В.Б. Лозинский, А.П.Оксанич, В.А.Тербан, Ф.В. Фомовский // Письма в ЖТФ, т. 38, вып. 22, c. 28–34 (2012)