- Деталі
- Перегляди: 7125
Цибуленко В. В., Шутов С. В., Євдокимов О. В., Боскін О. О. // Патент України на корисну модель № 93097 U, МПК C30B 19/00; заявл. 14.11.2013; опубл. 25.09.2014, Бюл. №18.
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Цибуленко В. В., Шутов С. В., Євдокимов О. В., Боскін О. О. // Патент України на корисну модель № 93097 U, МПК C30B 19/00; заявл. 14.11.2013; опубл. 25.09.2014, Бюл. №18.