- Деталі
- Перегляди: 7043
Смикало М. М., Шутов С. В., Аппазов Е. С. // Патент України на корисну модель № 57108 U, МПК C04B 35/00, H01L 21/331, H01L 21/34; заявл. 19.07.2010; опубл. 10.02.2011, Бюл. №3.
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Смикало М. М., Шутов С. В., Аппазов Е. С. // Патент України на корисну модель № 57108 U, МПК C04B 35/00, H01L 21/331, H01L 21/34; заявл. 19.07.2010; опубл. 10.02.2011, Бюл. №3.