- Деталі
- Перегляди: 6512
Цибуленко В. В., Шутов С. В. // Патент України на корисну модель № 58298 U, МПК H01L 21/208; заявл. 09.09.2010; опубл. 11.04.2011, Бюл. №7.
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Цибуленко В. В., Шутов С. В. // Патент України на корисну модель № 58298 U, МПК H01L 21/208; заявл. 09.09.2010; опубл. 11.04.2011, Бюл. №7.