- Деталі
- Перегляди: 7432
Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України на корисну модель № 102780 U, МПК H01L 21/00; заявл. 06.04.2015; опубл. 25.11.2015, Бюл. №22.
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України на корисну модель № 102780 U, МПК H01L 21/00; заявл. 06.04.2015; опубл. 25.11.2015, Бюл. №22.