- Деталі
- Перегляди: 7013
Фролов О. М., Шутов С. В., Самойлов М. О., Деменський О. М. // Патент України на корисну модель № 79669 U, МПК H01L 21/04, H01L 21/31, H01L 21/329, H01L 29/872; заявл. 19.11.2012; опубл. 25.04.2013, Бюл. №8.
 |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
|
Фролов О. М., Шутов С. В., Самойлов М. О., Деменський О. М. // Патент України на корисну модель № 79669 U, МПК H01L 21/04, H01L 21/31, H01L 21/329, H01L 29/872; заявл. 19.11.2012; опубл. 25.04.2013, Бюл. №8.