- Деталі
- Перегляди: 7468
Оптимизация очистки кварцевых труб в технологии полупроводниковой электроники / Литвиненко В. Н., Дощенко Г. Г., Самойлов Н. А. // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2.
 |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
|
Оптимизация очистки кварцевых труб в технологии полупроводниковой электроники / Литвиненко В. Н., Дощенко Г. Г., Самойлов Н. А. // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2.