Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Деталі
Перегляди: 19614

Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України № 110340 U, МПК H01L 21/00; заявл. 11.03.2016; опубл. 10.10.2016, Бюл. №19.