V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details
Hits: 19613

Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України № 110340 U, МПК H01L 21/00; заявл. 11.03.2016; опубл. 10.10.2016, Бюл. №19.