Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України

Пошук

O. Yilmazoglu, L. Considine, R. Joshi, H. Mimura, D. Pavlidis, H.L. Hartnagel, J.J. Schneider, A. Evtukh, M. Semenenko, V. Litovchenko // Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, vol. 30, iss. 4, article no. 042203 (2012)