 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Наукові відділи Publications dep15 dep-15-2016 Hydrogen Plasma Modification of Shallow Implanted Germanium LayersNazarov A.N., Yukhymchuk V.O., Okholin P.N., Lytvyn P.M., Lysenko V.S., Glotov V.I., Nazarova T.M., Napolitani E., and Duffy R. // Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Application and Properties, v.5, 01PISERE02 4pp. (2016)
