Особенности трансформации водородных связей и графитизации свободного углерода в пленках a-SiC:H при вакуумном отжиге

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details: Hits: 7558

А.В. Русавский, А.В. Васин, А.Н. Назаров, В.С. Лысенко// Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, вып.42, С.39-44 (2007)