Сравнительный анализ тонких пленок гидрогенизированного и негидрогенизированного аморфного карбида кремния

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details: Hits: 6479

А.В. Васин, А.В. Русавский, А.Н. Назаров, С.П. Старик и др.// Сверхтвердые материалы, №3 (149), C.36-47 (2004)