Процессы при ВЧ плазменном отжиге сильнонарушенных и аморфизированных приповерхностных слоев кремния в МДП структурах

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details: Hits: 6062

А.Н. Назаров, В.С. Лысенко// В сб. “Аморфные полупроводники и диэлектрики на основе кремния в электронике”, C.272-286 (1989)