ВЧ отжиг структур, имплантированных ионами фосфора

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details: Hits: 6406

С.А. Валиев, А.Н. Назаров, В.С. Лысенко, Т.Е. Руденко// Оптоэлектронная и полупроводниковая техника, вып.15, C.85-89 (1989)