V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details
Hits: 6612

Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України на корисну модель № 102780 U, МПК H01L 21/00; заявл. 06.04.2015; опубл. 25.11.2015, Бюл. №22.