V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details
Hits: 5670

Цибуленко В. В., Шутов С. В. // Патент України на корисну модель № 58298 U, МПК H01L 21/208; заявл. 09.09.2010; опубл. 11.04.2011, Бюл. №7.