Хімічна взаємодія GaSb та GaAs з травильними композиціями систем HNO3–HBr––оксалатна (тартратна, цитратна) кислота

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details: Hits: 5340

Чернюк О.С., Томашик З.Ф., Томашик В.Н., Гриців В.І. // Вопросы химии и хим. технологии, № 5, С. 194-198, (2004)